Igwe igwe lithography nkpuchi-egree-etching
Nmkpọ Okwu mmalite
Nkpughe ọkụ na-agbachitere UV buliri na Light Policing Heding modulu, na obere okpomọkụ na ezigbo ọkụ siri ike.
Ihe owuwu ọkụ na - emeghe na - eme ka ọ dị mma na - enwe mmetụta dị mma na - arụpụta ihe na - emetụta ya, na ndozi ala Mercury dị mfe ma dịkwa mfe. Ejirila microscope dị elu magnial
Eyepo nwa ma ọ bụ CCD + gosipụtara, yana usoro izi ezi dị elu, usoro ịta nri na ọrụ dị mma.
EGO
Ya na oru nhazi nhazi
Izi nrụgide kọntaktị na-eme ka ikwughachi okwu site na ihe mmetụta
A na-etinye oghere na oghere mkpuchi ahụ nwere ike ịtọ
Iji kọmputa agba agba agba agba agba agba agba agba agba agba agba agba agba agba agba agba agba, ọ dị mfe ma dịkwa mma, mara mma ma na-emepụta
Sere pinye na ala, dị mfe ma dịkwa mma
Nkwado oghere kọntaktị Volum, ikpughe kọntaktị siri ike, ikpughe kọntaktị kọntaktị na ngosipụta dị nso
Na Nano Impress Ọrụ
A na-eji mkpịsị ugodi na-eme otu ihe
Ngwaọrụ a nwere ezigbo ntụkwasị obi na ngosipụta dị mma, ọkachasị adabara izi ihe, nyocha sayensị na ụlọ ọrụ na mahadum na kọlenụ
Nkọwa ndị ọzọ







Nkowa
1. Mpaghara ikpughe: 110mm × 110mm;
2. ★ kpughere ikuku na-efegharị: 365nm;
3. Mkpebi: ≤ 1m;
4. Usoro izi ezi: 0.8m;
5.The ngagharị nke tebụl nyocha nke usoro iwu ga-ezute: Y: 10mm;
6
7. Oghere nha: sentimita abụọ, sentimita atọ, sentimita 4, sentimita ise;
8. Mpempe akwụkwọ nlele: Ibe, 2 ", 3", 4 ";
9.. ★ Kwesịrị ekwesị maka ọkpụrụkpụ: 0,5-6mm, ma nwee ike ịkwado iberibe 20mm na ọtụtụ (ahaziri);
10. Ngosiputa ekpughere: oge (ogugu onu);
11. Ọgụghị otu ọkụ: <2.5%;
12. Mpempe akwụkwọ CCD nke DCD na-edozi ahụ: Leom lens (1-5 lens) + microcope lens;
13. Stroke Stroke nke nkpuchi nke ihe nkpuchi na nlele ahụ ga-ezute: x: 5mm; Y: 5mm; : 6º;
14. ★ Igosipụta ike na-akụda mmụọ:> 30mw / cm2,
15. ★ ★ gwọlite ọnọdụ na ikpuchi ọnọdụ na ọdụ abụọ, yana ọdụ ụgbọ mmiri Servero na-agbanwe ngwa ngwa;
16
17. ★ Gap ọdịiche na ikpuchi oghere nke ikpuchi ihe diginal;
18. ★ ọ nwere nano akara nano akara na nnabata dị nso;
19. ★ emetụ ihuenyo ihuenyo;
20. Ogologo oge: Ihe dị ka 1400mm (ogologo) 900mm (obosara) 1500mm (ịdị elu).